TiAIlN薄膜相关硕士博士期刊学术论文

采用双靶反应磁控溅射的方法在40Cr基体上制备了TiAIN薄膜和WTiN薄膜.用XRD,SEM.AFM等检测手段对薄膜的表面状态及结构等进行了表......