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双层TiOxNy光谱选择性吸收薄膜特性的研究
应用直流反应磁控溅射设备在铜基底上制备双层TiOxNy选择性吸收薄膜。当第一层薄膜的制备参数不变时,研究了第二层薄膜中N2流量参数......
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直流反应磁控溅射
TiOxNy
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DC Reactive Magnetron Sputtefing
TiOxNy
Selective Ab
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