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ZnO∶Ga薄膜相关论文
调制溅射气压对ZnO∶Ga薄膜结构与光电性能的影响
利用射频磁控溅射法分阶段调制溅射气压在石英衬底上沉淀ZnO∶Ga薄膜。实验分为四组,分别是0.7 Pa/1Pa,1 Pa/1 Pa,1.5 Pa/1 Pa,2 P......
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石英衬底
薄膜厚度和溅射功率对有机衬底上ZnO∶Ga薄膜应力的影响
在室温(RT)下,采用直流(DC)磁控溅射在聚碳酸酯(PC)衬底上制备Ga掺杂ZnO(GZO)薄膜。通过X射线衍射(XRD)与基片曲率方法研究薄膜的......
期刊
ZnO∶Ga薄膜
应力
基片曲率法
直流磁控溅射
有机衬底
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