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ZnS外延膜相关论文
温度对Si衬底上低压MOCVD外延生长ZnS薄膜质量的影响
用低压 MOCVD系统在 ( 1 1 1 ) Si衬底上 ,用两步生长方法 (改变 / 流量比 )在 3 0 0~ 4 0 0℃时外延生长了 Zn S单晶薄膜。随着衬......
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ZnS外延膜
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低压MOCVD
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