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Zr)N相关论文
空心阴极离子镀(Ti,Zr)N膜层制备及应用研究
用空心阴极离子镀(HCD)技术制备了(Ti,Zr)N膜层,研究了氮分压对膜层硬度的影响.以结合强度为判据,采用基体温度、轰击气压、负偏压......
期刊
空心阴极离子镀(HCD)
(Ti
Zr)N
印制板
Hollow cathode deposition
(Ti
Zr)N
Printed circuit b
(Ti,Al,Zr)N多元硬质膜的研究
利用多弧离子镀技术、采用Ti-Al-Zr合金靶材在高速钢基片上沉积(Ti,Al,Zr)N硬质膜。系统地研究了沉积工艺(偏压、反应气体压强、沉......
学位
(Ti
Al
Zr)N
超硬反应膜
多弧离子镀
偏压
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