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ZrB2薄膜相关论文

非超高本底真空条件下沉积低氧含量ZrB2薄膜

磁控溅射制备易氧化质薄膜一般需要超高本底真空条件,而超高真空条件在大面积、大批量镀膜工程中存在成本过高或较难实现的问题。......

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非超高本底真空磁控溅射辅助Ti靶 ZrB2薄膜低含氧量 non-ultra-high vacuum conditionmagnetron sputteri

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