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离子束辅助沉积铪膜抑制栅电子发射性能研究
利用离子束辅助沉积(IBAD)方法在Mo栅极表面沉积铪膜,采用模拟二极管方法测量和比较阴极活性物质Ba、BaO蒸发在镀铪和纯钼栅极表面......
期刊
抑制电子发射
铪
离子束辅助沉积
钼栅极
anti-emission
hafnium
ion beam assisted deposition
molyb
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