c-BN薄膜相关论文
随着卫星通信，网络通信以及无线通信等向高频化(4.8GHz以上)的发展，高频声表面波器件必须具有高声速、高机电耦合系数、低声速频散等......
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。射频溅射两步法制备立方氮化硼(c-BN)薄膜@冯贞健$北京工业大学教育部新型功能材料重......
用射频磁控溅射方法得到了低应力立方氮化硼薄膜。红外光谱结果表明 ,薄膜具有很好的附着力 ,且含有少量的E BN和w BN。电子衍射谱......
采用离子束辅助沉积法在硅片上成功制备了一定立方相含量的氮化硼薄膜,采用各种现代分析方法对沉积的薄膜进行了表征分析,包括傅立......
