h-BN薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

h-BN薄膜相关论文

PECVD沉积和原位退火时间对h-BN薄膜组成及光学带隙的影响

采用射频等离子增强化学气相沉积设备，以高纯N2和B2H6为气源，制备了系列h-BN薄膜，得到适合生长h-BN薄膜的最佳工艺条件。在此条件下，研......

期刊

h-BN薄膜沉积时间退火时间光学带隙＇ h-BN films deposition time annealing time optical ban

看过本文同时还关注