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SiO2和Si3N4/SiO2薄膜表面驻极态的改善
描述了为改善其表面驻极态的抗湿能力,对Si基Si3N4和Si3N4/SiO2薄膜驻极体所进行的化学表面修正的基本原理。以六甲基二硅胺(HMDS)和......
期刊
化学表面修正
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六甲基二硅胺烷
二氯二甲基硅烷
chemical surface modification
humidityproof
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