2,1,4-重氮萘醌磺酸酯类化合物（2,1,4-DNQ）,在光照下除了发生传统的重氮萘醌磺酸酯的光解,还可以产生磺酸导致聚合物发生酸解,因而可......

将具有高酸解活性的酯缩醛聚合物与重氮萘醌磺酸酯配合，组成正性化学增幅型光致抗蚀剂，用于高感度化学增幅型 i-线（365 nm）光致抗蚀剂.......

Ｉ－线光致抗蚀剂可以同时被电子束和光学曝光系统曝光，在５０ＫＶ加速电压下，其曝光剂量为５０－１００μＣ／ｃｍ＾２，曝光后在０．７％ＮａＯＨ溶液内显影１ｍｉｎ。其灵敏度比ＰＭＭＡ快５倍，分辨率为０．５μｍ。采......