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ion-implatation相关论文
离子注入石英玻璃光波导的研究
在熔融石英玻璃衬底上,通过注入氮离子和硼离子,制成了低损耗,单模平面光波导。波导的最大折射率和离子浓度的半宽度分别是1.48和0.5μm,波导损......
期刊
光波导
离子注入
石英玻璃
optical waveguide
ion-implatation
integrated optics
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