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介观压阻效应在硅微加速度计中的应用
为了突破传统机电转换局限,提高加速度计灵敏度,提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度的硅微加速度计,基于这种原理设计一种四梁......
期刊
介观压阻效应
加速度计
灵敏度
共振隧穿
meso-plezoreslstance
accelerometer
sensttivity
resonant tun
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