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微靶是惯性约束聚变研究中的一个关键器件,针对该器件研制了一种半自动微装配系统,该系统可以对由两半腔(直径约800~1000μm,长1 mm......
将微直线电机宏动机构与双晶片压电悬梁微动机构结合,研制高精度、大范围的组合式微夹持器.针对宏微结合的结构形式,设计组合式微......
介绍了一种由PZT(压电陶瓷)驱动的用于MEMS微装配的微夹持器的设计,计算了夹持器本体的放大倍数和刚度.并用ANSYS仿真验证了数学计......
分辨率和最大输出位移是微定位系统互相矛盾的两个关键性能指标,传统以柔度为目标的结构优化设计不能满足系统的这些性能要求。因......