介绍两种不同结构形式的基于电子隧道效应的ｎｍ级三维轮廓仪。其纵向分辨率可达０．０２ｎｍ，横向分辨率可达０．２ｎｍ，扫描范围分别达到４０μｍ×４０μｍ和１４０μｍ×......