超精密测量相关论文
由于编码器误差、安装误差、电机转矩波动以及环境扰动等不确定因素的存在，会造成旋转轴线转动速度波动从而带来动态角位置误差，而角......
在光学系统中,各式曲面结构的应用非常广泛,常见的有球面、非球面和自由曲面等,其中,自由曲面由于在设计上具备更高的自由度,可以......
应用光学理论分析了一种纳米级位移分辨率的双级衍射光栅测量系统，建立了衍射叠栅信号与对应位移的数学模型，并通过计算机仿真对叠栅......
随着非球面等光学元件在现代光学系统中的广泛应用,对光学元件的加工与检测都提出了更高的要求。接触式测量方法精度通常在微米、......
电容位移传感器因其高分辨力、高频响和非接触测量等优点,可实现对旋转轴回转精度、往复机构运动特性以及检定工件尺寸、平直度等......
为了降低超稳光学腔的振动敏感度，在综合考虑振动所导致的腔镜位移及转动后，定义了一个新的表征腔体振动敏感度的参量。采用有限元数......
超精密测量是超精密加工中的重要一环,目前其研究的内容主要涉及光干涉技术、电学测量技术以及扫描探针技术等几个方面,本文主要介......
通过对圆柱度测量仪中直行和空间回转复合运动误差对圆柱度测量结果的机理研究,并针对标准圆柱测量的特殊性,提出了一种可实时并完......
为了提高大型阶梯轴回转部件圆柱轮廓的测量精度,提出1种考虑偏心量、工件倾斜及传感器测头偏移的3偏置测量模型。分析了综合偏置......
圆柱形状测量的准确与否很大程度上要依赖于滤波器对工件表面的高、中频信号和各种干扰信号滤除的准确与否, 为了准确科学地提取圆......
介绍超精密测量技术与仪器工程研究中的几个热点问题；二维和三维微小内尺度精密和超精密测量技术、超精密三维轮廓与坐标测量技术，无......
阐述超精密研磨技术的研磨机理和加工特点,讨论当前国内外研究和开发的几种超精密研磨技术及其发展。最后,介绍精密加工技术的检测......
随着精密装备制造业与尖端工业的快速发展,对圆柱形回转体类零部件的加工和装配精度要求更为苛刻,这就对该类零部件表面轮廓的测量......
研制了基于同一显微镜基体实现原子力探针扫描测量与非接触光学测量两种功能的复合型超精密表面形貌测量仪。分析了基于白光显微干......
随着现代数字制造技术的快速发展,在工业产品测量领域,对微型物体几何尺寸的测量需要满足非接触、高精度、多尺寸等需求,而现有测......
随着新材料、超精密加工技术的发展，被测对象的尺寸越来越大，超精密加工的加工精度和表面质量越来越高，导致通用的测量仪器所能提供的......
随着非球面光学元件的设计和加工技术的发展，对非球面光学元件的面形及其参数的检测提出了更高的要求。在己有高精度检测仪器的条件......
阐述超精密研磨技术的研磨机理和加工特点,讨论当前国内外研究和开发的几种超精密研磨技术及其发展。最后,介绍精密加工技术的检测......
