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以PZT薄膜为驱动和传感的微型陀螺研制
利用压电陶瓷PZT的正反压电效应,将PZT薄膜同时作为驱动及传感材料,设计并制造了两种新颖的以IC兼容技术制作在硅片上的压电薄膜微型......
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微型陀螺
PZT薄膜
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piezoelectirc
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