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本文报道用反应气体SiF4和H2的微波等离子体化学气相沉积法低温(360℃)生长多晶Si(poly-Si)薄膜及其生长表面反应控制.实验发现,生......
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多晶硅（Poly-Si）薄膜在长波段具有高光敏性，对可见光能有效吸收，且与非晶硅相比具有较高的转换率和迁移率，其光电效率不会随光照时间的......
