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微氮硅单晶中的空洞型原生缺陷
研究了掺氮和不掺氮直拉硅单晶中,空洞型原生缺陷(voids)的分布行为和其退火性质。从两种晶体不同位置取样,观察与大尺寸voids相关的流......
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硅单晶
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流水花样缺陷
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