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角度计量中三光栅光学系统应用分析
在目前的角度计量工作中普遍采用光电轴角编码器作为测角器件,而光栅系统由于具有分辨率高、稳定性好、出错率低、环境适应性强等......
期刊
角度计量
三光栅
衍射
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angle metrology
three-grating
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基于光栅衍射光干涉的位移测量技术研究
为了研制结构紧凑的高精度纳米分辨力位移测量装置,对基于光栅衍射光干涉的位移测量技术进行了理论研究并研制了原理样机。系统地......
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光栅干涉
位移测量
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卡尔曼滤波
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