随着大口径平面光学元件在科技领域的广泛应用,其面形高精度检测常采用干涉测量来完成。菲索干涉是具有代表性的干涉检测方法,其检......

采用三平面互检测量方法,分别在等倾干涉仪和相移干涉仪上对平晶平面度进行了绝对测量比对。针对两种干涉仪不同的测量原理,提出了......

传统的三平面互检法与ZYGO干涉仪自带的three-flats程序都不能实现三个平面的三维面型测量.以ZYGO干涉仪的GPI程序为基础,通过对仪......

为分析大口径平面光学元件面形绝对测量的准确度,补偿重力引起的形变误差,在分析基于奇偶函数法的三平面互检算法的基础上,利用3片......

目前用于高精度光学平面面型检测的方法主要是干涉法,但是用干涉法测量高精度的平面时需要一个更高精度的平面作为参考面,因此在高......

为了提高大口径光学元件子孔径拼接测量的检测精度,提出一种平面绝对测量技术,修正子孔径拼接过程中产生的系统误差。利用改进的三......

针对立式大口径平面干涉仪,采用结合Zernike多项式的三平面互检面形检测方法,研究参考平面在装夹情况下的自重变形对绝对面形检测......

惯性约束核聚变(Inertial Confinement Fusion简称ICF)是人类解决全球能源危机的一个有效途径,其中ICF驱动系统中大口径平面光学元......