相移干涉相关论文
白光干涉法已经被广泛用于MEMS微传感器、光学透镜和透明薄膜等超精密器件的表面特征检测当中。随着超精密制造及复杂微纳器件技术......
硅片封装表面变形测量对于保证集成电路产品的性能与可靠性、封装工艺分析与优化,具有重要意义。本文围绕硅片封装表面变形动态高......
在对各种广义相移干涉相移提取算法进行总结分类的基础上，提出一种利用实验可探测量对广义相移干涉相移提取算法进行比较评估的方法......
相移干涉显微镜在微观物体三维形貌的重构横向分辨率上受衍射极限影响,一般在微米级,限制其应用。将高折射率微球嵌入Mirau型相移......
相移干涉术(PSI)作为一种光电型干涉测试技术,具有结构简单、调制方便、实时快速、高精度以及全场自动测量等优点,并且己经广泛应......
衍射光学元件(DOE)表面形貌的测量需要解决因表面结构深度较大和表面不连续给测量带来的困难.本文将双波长测量法的思想推广应用到......
相移数字全息技术将相移技术与数字全息技术相结合,为微观物体的三维形貌和折射率分布检测提供了一种快速、无损、高精度手段。与......
相移干涉数字全息显微技术是近年来发展起来的一种与数字技术相结合的用于微小物体显微成像的新技术。它主要利用光敏器件(如CCD、......
随着对产品表面质量要求的提高和微细加工技术的不断进步,对微表面形貌的测量技术提出了更高的要求,而由于光学测量法具有非接触性......
涡旋光是一种具有螺旋相位波前和中心相位奇点的特殊光场,由于其相位的特殊性,涡旋光的光强呈中心为暗核的圆环形分布。随着涡旋光......
为了提高两步相移干涉测量术的相位重建精度,提出了一种基于分区背景估计的相位盲解调算法。该算法选取干涉图中的一系列零值点作......
该文研究用于微表面三维形貌测量的Mirau白光相移干涉系统.闭环控制的压电陶瓷传感器(PZT)带动干涉物镜在光轴方向步进式移动,以得......
分析了微细台阶面表面形貌测量可能会出现平滑或失真现象的根源 ,提出一种基于测量数据分析和数据处理的解决方法。此方法已成功地......
应用相移干涉及Zernike多项式波面拟合技术实现对空间小角度的高精度测量 ,测量精度可达到 0 0 13″。与采用自准直仪、激光干涉......
期刊
摘 要 相移干涉技术融合了多种现代核心技术，已成为光学精密测量的关键技术，在诸多领域有着重要应用。基于实验教学的基本要求和培养......
提出了一种新的载波电子散斑干涉的处理方法,该方法将载波所形成的直条纹和包含物体变形信息的弯曲条纹在频域直接比较,避免了传统......
相移干涉技术在表面形貌定量测量中得到广泛应用,其中相移算法是影响相位测量精度的关键之一.分析比较了常用四种算法:四帧算法、......
超精加工技术的不断发展,对光滑表面粗糙度检测精度要求越来越高。采用显微相移干涉技术,设计软件算法实现超光滑表面任意横向或纵......
提出一种基于两步正交相移干涉的光学图像加密技术.这种相移干涉数字全息只要记录两幅干涉图,不需要记录物光波和参考光波的强度信......
设计了一种基于菌紫质光致各向异性的相移器,并把它用于相移干涉计量。取向随机分布的极性菌紫质分子对线偏振诱导光的选择性吸收......
通过分析光线通过微球壳层后各界面的相位分布，讨论了相移干涉法测量微球内表面粗糙度的基本原理，研究了微球上部壳层对内表面粗糙度......
介绍了采用相移干涉法进行聚合物光纤剖面折射率分布测量的技术,并着重阐述了相移技术和去包裹技术的原理.......
实时监测晶体生长过程对研究晶体生长动力学以及调控晶体生长过程有着很重要的意义。本文结合干涉技术、相移技术以及时间序列位相......
提出了一种在联合变换相关器结构中引入三步相移干涉和二元置乱技术的图像加密方法．用纯相位空间光调制器同时调制原始图像和两个随......
对于平面度的计量,传统的方法是通过等倾干涉仪对标准平晶进行绝对检验,然后向长平晶、研磨面平尺传递;或通过等厚干涉仪向其他尺......
光学元件表面高精度的检测一直是光学检测领域追求的目标。目前国外高精度干涉检测技术的水平处于领先地位,高精度干涉检测仪器大......
介绍了一种基于显微干涉的光纤连接器端面的测试系统，干涉仪由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成，CCD相机采集干涉图样，经处理后得到相位分......
现代光学干涉测量融合了光电检测、计算机技术和图像处理技术等现代科学技术。光学干涉测量技术日新月异,但是被测量的物理属性都......
微机电系统(MEMS)测试的主要目的是为工程开发中的设计和模拟过程提供数据反馈,其中一个重要方面就是MEMS器件动态特性的高速可视......
研究了相移干涉轮廓仪干涉图处理的相位提取算法和相位去包裹算法.提出区分像素点的四步相位提取算法,该算法有效地消除了环境噪声......
基于相移干涉理论设计并实现了微平面三维形貌测试系统 ,针对三维形貌检测解包裹过程中出现的问题 ,改进了现有的残差点判断法 ,能......
在相移干涉中,传统方法在大量噪声、条纹断裂和欠采样的条件下无法有效的解包裹。本文提出一种相移干涉中基于DCT域掩膜的相位解包......
在数字全息显微技术中,为了提高测量精度,提出了一种利用长工作距离物镜的相移数字全息显微的测量装置和方法。该装置采用LED作为......
针对相移干涉法测量表面三维形貌时深度测量范围受波长限制这一问题,提出一种四波长表面形貌干涉测量系统。通过滤波片的轮换,将白......
随着微电子、微光学、微机械和生物工程等技术的发展,对三维显微成像提出了更高的要求。传统的接触式高精度三维测量技术不仅测量......
晶体生长是一个复杂的物理化学过程,晶体的质量和结构形貌与晶体生长动力学的各个参数直接相关,如生长界面的浓度梯度、过饱和度、......
用光学显微干涉法进行表面形貌测量时其深度测量范围的扩大和形貌测量精度的提高是一对矛盾。为此,本文设计出了一种基于波长轮换......
介绍了一种计算机控制的微运动分析仪（MMA），用来研究微机电系统（MEMS）中可动部件的运动特性。它采用了2种光学无损测量方法：计算机微视觉......
在以激光干涉方法进行轴承滚珠面型误差测量时,为避免特制参考标准球面镜自身球度误差对测量结果的影响,提出了一种以平面镜代替球......
本文论述了应用相移干涉原理测量三维表面粗糙度，给出了测量系统的组成，实现相移的微位移器件压电陶瓷应用，三维表面粗糙度评定参数的......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
1测量原理相移干涉显微镜是干涉术与显微术结合的产物，由双光束干涉理论可知，干涉场光强分布用下式表示I（x，y，t）=I1＋I2＋2I1I2cos[φ（x，y）＋δ（t）]（1......
高效的相位解包裹算法能有效地提高相移干涉测量的精度.文章从原理和实验结果对绕过残点解包裹算法、棱形种子解包裹算法、最......
提出一种基于统计逼近的改进Stoilov算法，可以除去光学元件检测中展开相位时遇到的奇异点和超大误差，提高测量精度。通过重构瑕疵表......
相位提取的精度直接影响相移干涉测量的精度。在变频相移干涉测量中,相移量由干涉腔长和波长变化量决定,必须对测试系统进行相位标......
Gabor同轴数字全息具有光路简单、受环境振动和空气扰动影响小,且对光源的相干性和记录器件的空间分辨率要求较低等优点,但直流项......
在相移干涉和偏振成像光学测量中,需要采集多幅图像才能重构出被测的相位或斯托克斯矢量。普通的分时采集方法受到被测目标和测量......
随着微细加工技术的不断发展进步和微电路、微光学元件、微机械等微表面的不断出现,对微表面三维形貌测量技术也提出了更高的要求,......
