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三段P-I模型相关论文
基于压电陶瓷驱动器的微纳定位控制系统研究
微纳定位控制技术的快速发展,极大地提高了对微观领域的研究水平,微纳米定位技术是微纳米科技领域的基础环节。与宏观运动定位控制......
学位
微纳定位平台
压电陶瓷驱动器
迟滞非线性
三段P-I模型
复合控制
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