三维光栅相关论文
一些高新行业,其对器件的尺寸精度要求相当高,一般都要达到微米级,甚至需达纳米级别。对于机械加工业,靠一般的加工测量方法是无法......
为了检测机床刀具的三维位移、实时显示刀具的进刀量,提高工件的加工精度,研究并设计了一种基于光栅位移传感器的高精度三维光栅位......
在集成电路制作过程中,芯片表面上的复杂微观电路结构刻蚀可以视为众多微小的周期性光栅结构刻蚀的集合。严格耦合波分析法(RCWA,R......
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