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阐述在14nm FinFET及以下工艺，由于器件需要，较多制程刻蚀后关键尺寸为22nm。DUV光刻工艺关键尺寸的极限38nm左右。探讨在形成最终的......
随着集成电路中关键尺寸的不断减小，测量精度要求达到原子级才能保证器件的有效性，这给纳米线宽的精确测量带来了新的挑战。2018年第......
在线测量检测技术与装备是保证集成电路（IC）制造质量和良率的唯一有效技术手段，在IC制造过程中必须对IC纳米结构的关键尺寸、套刻误差......
摆线减速器作为一种新型减速器,可用于火炮炮塔传动机构、工业机器人、数控机床和雷达等方面.摆线偏心轴作为摆线减速器的核心零件......
期刊
四轮定位参数对底盘综合性能非常关键,参数角度受实物制造过程偏差影响,因此尺寸工程需要在前期设计阶段进行角度偏差校核。定位参......
为了避免塑料容器结构设计中依据经验确定尺寸带来的结构性能的不足,应用ANSYS Workbench中的Response Surface Optimization模块,......
随着芯片特征尺寸的减小,光刻成像技术的不断提高,而关键尺寸(CDs)的缩小则产生了更为精确的套刻精度.这些套刻精度在已随着工作台......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
1、产品及其简介rnNMC508A等离子体硅刻蚀系统是适用于8英寸集成电路生产线,面向逻辑和存储等多种电路制造的先进电感耦合等离子体......
1、简介rn项目名称:高压0.18μm先进工艺技术,rn该项目产品属于30V高工作电压的关键尺寸为0.18μm的逻辑器件.在8英寸硅片上经过32......
介绍了“J”形回料阀对CFB锅炉运行稳定性的影响,CFB锅炉J阀关键尺寸的确定方法,及CFB锅炉J阀配风系统设计经验。
The influence ......
本研究以人体工程学理论为基础,结合儿童青少年身体形态特征进行分析,通过采集儿童青少年身体形态数据,分析适合于儿童青少年使用......
集成电路制造中的光刻技术简而言之是将设计的图形转移到晶圆表面的技术.作为集成电路的制造工艺中的核心环节,随着线宽尺寸的减小......
针对光刻过程非线性、时变和产品质量不易在线测量的特性,提出了一种基于最小二乘支持向量机预测模型和微粒群滚动优化方法的批次......
本文主要从专利视角对申请量、申请人和分类号的分布进行统计分析,总结了与形成精细图案的定向自组装技术相关的国内和国外专利的......
本文以A319/320滑轨肋零件为例，根据该零件结构特点，介绍了典型肋板类零件如何确定工艺方案及关键尺寸控制方法。......
中国计量科学研究院经过多年研究,初步建立了国家纳米计量溯源体系,包括有:纳米几何结构计量标准装置、毫米级纳米几何结构计量标......
折弯模具刀口夹角、对称度及其中心到安装面中心距离的精密检测是确保折弯模具互换性的关键。根据数控折弯模具关键尺寸的特点,采......
为了对产品的质量和性能精准预测,文章提出了基于时序变动偏差的公差分析法。该方法考虑了工况下时序变动偏差,如随时间变动的零件......
介绍了光刻法石墨烯的制备方法,分析了光刻工艺过后石墨烯方阻升高的不良机理,并给出了相应的优化方案。首先,根据半导体工艺研发......
根据仿生优化的一般流程,对工作转台的优化目标进行需求分析,在保持仿生优化型工作台结构形态不变的前提下,利用ANSYS参数化设计语......
我单位承接了某公司转包零件,该零件外形结构属于环形薄壁类零件,材料为20钢。零件直径方向关键尺寸669.98mm,图样要求其变形量......
双探针对顶测量可以有效地消除传统原子力显微镜（AFM）的探针形状对关键尺寸（CD）测量的影响。测量前需要将两个探针针尖（A和B）接触到一起......
通过建立有限元模型，模拟钛合金半球超塑成形过程，分析吹塑压力、模具关键尺寸、吹塑工艺过程对半球壁厚均匀性的影响。证明在球壳超......
集成电路深紫外光刻工艺过程中,硅片表面光阻产生的有机挥发物会结晶在深紫外光刻机里的光学镜头上,随着时间的积累,结晶物变多,会......
CⅢ-B型轨枕生产过程中异轨底脚间距的合格率较低本文对收缩徐变和温差效应对这一参数的影响值进行分析,在此基础上对这一关键参数......
旗袍是中华女性的传统服装之一,定制旗袍就需量尺寸,尺寸量得如何关乎体型美和舒适性。近日,蔓楼兰品牌专卖店引进了一种美国高端3......
在考虑驱动器径向油压情况下,给出了液压式微量位移驱动器关键尺寸确定的理论公式,并借助于数值模拟方法证明其是正确的;通过对其......
分析了制动梁存在的滚子轴和闸瓦托滚子轴槽孔中方位不一致和闸瓦托安装反位问题，阐述了滚子轴与闸瓦托的正确安装方位，并对造成滚子......
介绍了空心短锥柄KM刀柄/工具系统的典型结构和技术特点,基于已有的ISO 26622-1标准,分析了KM刀柄标准尺寸中影响工具系统性能的主......
为了合理地分配滚刀轴部件各零件的尺寸与公差,优化产品设计,利用Pro/E软件对滚刀轴部件进行三维设计。根据功能要求确定分析目标,......
通过对三种不同呼吸状态、两种身体姿态下30位实验模特人体关键部位尺寸测量数据的对比分析及不同呼吸状态下呼吸松量与被测者关键......
对矿用液压支架油缸在瞬态高压下的密封进行探讨,从结构、密封机制、材料和关键尺寸的选取方面进行分析,设计出一款新的组合自紧式......
开发了农用多缸柴油机机体在铸造分厂各平面预粗加工后,转入专门研制的柔性生产线进行湿式清洁加工的工艺方案。该方案用4台高速双......
以某乙烯工程乙烯装置中的汽油分馏塔为例，介绍了超大型设备现场预制及组焊过程中的质量控制方法。通过对斜切向超大接管开孔进行二......
随着微纳技术中材料和器件关键尺寸的减小以及几何结构复杂性的增加，给微纳尺度的精确测量带来了新的挑战。微纳几何量计量技术主要......
刀柄作为高速加工工具系统中刀具/主轴连接的关键部件,直接影响高速加工的质量和效率,已成为国内外学者关注和研究的热点。KM刀柄......
在ULSI制造中蚀刻腔条件的变化是导致刻蚀工艺重复性差的一个重要原因。在刻蚀过程中,一层聚合物会淀积在蚀刻腔壁上。通过XPS分析......
本文通过分析和讨论利用数控机床参数进行复杂零件加工编程的特点和重要性，为解决当零件关键尺寸发生更改时产生的调整模型、重新生......
为准确测量半导体线宽,基于电子固体相互作用理论和固体中电子的传输机制,采用蒙特卡罗模拟方法,深入研究了模型数据库方法在半导......
破碎轴作为破碎机的主要组成部分,它的设计精度与配合将直接影响整机的工作可靠性。本文通过分析、计算,阐述PLM100型破碎机频繁发......
