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不氩离子轰击镀相关论文
金属铀与铝薄膜界面的俄歇电子能谱研究
以磁控溅射沉积方法,采用循环氩离子轰击镀和未循环轰击镀工艺在金属铀上制备了铝薄膜.俄歇电子能谱分析结果表明:循环氩离子轰击......
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