磁控溅射沉积相关论文
硅具有高达约4200 mAh g-1的储锂比容量,远高于商业化应用的石墨电极(372 m Ah g-1),因此受到极大的关注。然而,硅电极在锂化和脱......
现如今光纤激光器发展迅速,其应用遍布材料加工、医疗、精密测量和光通信等领域。这种光源的灵活性、可靠性和紧凑性使其在许多方......
超快脉冲激光技术在很多领域都有着广泛的应用,包括医学成像、空间测距、眼科学、太赫兹光谱、材料微加工、精密计量。与传统的固......
采用磁控溅射技术制备了不同Ti含量的Mo S2/Ti复合薄膜,利用SEM、AFM、纳米压痕仪、XRD和CSM摩擦试验机分析了复合薄膜的结构、力......
LED被称为第四代光源，具有节能、环保、安全、寿命长、低功耗、低热、高亮度、防水、微型、防震、易调光、光束集中、维护简便等特......
四方钨青铜结构的铌酸锶钡(Strontium Barium Niobium SBN)以其较大的线性电光系数、较高的光折变性能灵敏度和热释电系数广泛应用......
本文利用多弧离子镀技术及磁控溅射技术分别在淬火45钢、201奥氏体不锈钢、单晶硅基体表面沉积CrN薄膜和CrWN2复合薄膜,并研究了工......
铀材料部件的腐蚀是一个较为严重的问题，为了提铀材料部件的表面抗腐蚀能力，人们越来越多的关注表面改性问题。各种表面改性技术逐步......
作为超导领域新近发展起来的一个体系,铁基超导体中的11体系吸引了越来越多研究者的目光,不是因为它有多么高的超导转变温度,而是......
薄膜晶体管在有源矩阵寻址液晶显示器(AMLCD)中处于关键地位,它的研发历来是该领域研究中的重点。非晶硅薄膜晶体管(α-Si TFT)易......
薄膜晶体管在有源矩阵寻址液晶显示器(AMLCD)中处于关键地位,它的研发历来是该领域研究中的重点。非晶硅薄膜晶体管(α-Si TFT)易......
利用磁控溅射法在GCr15轴承钢表面沉积厚约100nm的钽膜,然后对其进行氮等离子体基离子注入,注入能量为50keV,利用GXRD分析改性层的......
GCr15钢广泛用于各类轴承制造。为提高其摩擦性能，用磁控溅射法在GCr15轴承钢试样表面沉积厚约100nm的钽膜，再进行不同注量的50keV碳......
巨磁电阻自旋阀多层膜作为磁敏传感器材料与磁随机存储器(MRAM)材料,具有高的可靠性与灵敏度,在航空航天等高科技领域有着极大的应......
利用磁控溅射方法在304不锈钢表面沉积厚约100nm的钽膜，并对其进行氮等离子体基离子注入，注入能量为50keV，用掠射X线衍射（GXRD）分析了改......
以磁控溅射沉积方法,采用循环氩离子轰击镀和未循环轰击镀工艺在金属铀上制备了铝薄膜.俄歇电子能谱分析结果表明:循环氩离子轰击......
用X-光电子能谱仪(XPS)、扫描透射电镜(STEM)分析了蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响。结果表明，在沉积真空2Pa下，蒸......
提出了一个磁控溅射的低能量粒子(可以是离子或原子)加温沉积模型,特别考虑了溅射损伤和有一定能量的入射粒子对基底的加温作用,并......
怎么描述特征的表面形态学和微观结构进化是当前的薄电影研究的最热的研究。但是在表面形态学的传统的描述，粗糙参数是联系的规模。......
实验用于高能量驱动的一种靶目前主要是Me-Mo阻抗匹配靶，即用已知高压状态方程数据的Mo标准材料与未知的待测材料Me相匹配成微靶，通......
为获得高性能的柔性透明导电薄膜,采用磁控溅射技术在柔性PC衬底上制备出了STO（30nm）/Ag/STO（30nm）复合结构透明导电薄膜.分别对不同中......
<正>有效的创面覆盖是大面积烧伤患者能否抢救成功的关键因素之一。近年来,人们不断研究和开发各种新型敷料,特别是含纳米银的人工......
目的通过调节偏压,改善无氢DLC薄膜的微观结构,提高其力学性能和减摩抗磨性能。方法采用离子束辅助增强磁控溅射系统,沉积不同偏压......
采用反应磁控溅射技术,以Ti和Al为溅射靶材料,Ar和N2为溅射气体,在Al基底上沉积TixAlyNz热控薄膜.优化制备薄膜的最佳实验条件.对......
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在室温下利用射频磁控溅射沉积非晶铟镓锌氧化物（a-IGZO）薄膜作为有源沟道层,分别制备了顶栅和底栅结构的薄膜晶体管（a-IGZO-TFTs）原型......
氮化硼(BN)是一种应用极为广泛的Ⅲ-Ⅴ族半导体材料,BN膜通常是利用物理及化学气相沉积的方法获得的。沉积BN膜所用衬底材料一般为......
采用电子回旋共振微波等离子体源增强磁控溅射沉积氧化铝薄膜.X射线光电子谱和X射线衍射分析表明,在600°C沉积温度下,Si(100)......
近十年,Cu2ZnSn(S,Se)4 (CZTSSe)作为薄膜太阳电池的吸收层材料受到了广泛的关注。CZTSSe薄膜太阳电池是在Cu(In,Ga)Se2(CIGS)薄膜......
采用磁控溅射沉积Fe／Ti纳米多层薄膜，针对纳米多层薄膜的界面稳定性，在真空热退火条件下，研究Fe／Ti纳米多层薄膜的界面反应机制。利用Ru......
氧化锡锑（ATO）薄膜是一种新型透明导电氧化物薄膜，因具有资源丰富、价格低廉、无毒无污染，且禁带宽度大（＞3.6eV）、导电性好、可见光透过率......
<正>上世纪80年代开始,磁控溅射技术得到迅猛的发展,其应用领域得到了极大地推广。现在磁控溅射技术已经在镀膜领域占有举足轻重的......
用磁控溅射方法沉积制备的Ag/Ti-W/Ni-Cr三层复合电极薄膜上的Ag膜在工艺中容易脱落,而SiO2衬底上的Ag膜则具有良好的粘附性能。X......
