丙酮氢气氩气等离子体相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

丙酮氢气氩气等离子体相关论文

热丝CVD沉积金刚石薄膜过程中的发射光谱研究

发射光谱(OES)是对等离子体过程进行检测和诊断最常用的方法，利用等离子体发射光谱，在甲烷/H2/Ar 和丙酮/H2/Ar 两种碳源体系下，对热......

期刊

薄膜热丝化学气相沉积金刚石薄膜丙酮/氢气/氩气等离子体发射光谱 thin films hot filament chemical vapor depos

看过本文同时还关注