中频孪生靶相关论文
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本文首先对Ti-N-C膜系的硬质膜的性能、制备以及检测手段进行了综述。在此基础上，采用离子束辅助中频非平衡磁控溅射技术制备了Ti／Ti......
采用中频孪生靶磁控溅射技术,在不锈钢和铝基体上沉积出ZrN/Zr薄膜,表征了薄膜的厚度、色度及表面形貌,研究了氮气流量对ZrN/Zr薄......
