亚波长光刻相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

亚波长光刻相关论文

适用于超深亚微米集成电路制造与验证流程的光学邻近修正方法研究

过去几十年来,微电子技术的高速发展以及各类应用对电路性能需求的日益增长使得现代集成电路系统的规模和复杂程度日趋提高,这必将......

学位

光学邻近修正光刻仿真光刻友好的版图设计可制造性设计亚波长光刻

基于样品旋转的亚波长光刻理论研究

亚波长结构在微纳光学领域具有重要和广泛的应用,其制备通常采用化学合成或亚波长光刻的方法。表面等离子体干涉光刻在成本和分辨......

学位

表面等离子体导模亚波长光刻亚波长结构样品旋转

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