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本论文主要研究了取向和外延生长的钛酸锶铅(PST)介电可调薄膜和铌酸锶钡(SBN)光波导薄膜的制备工艺条件以及相关的物理性能。在实......
采用溶胶凝胶工艺，在ITO透明导电玻璃基板上成功地制备了Zn掺杂的Pb0．4Sr0.6Ti0.3（PST）铁电薄膜。XRD结果表明：550℃和600℃不同热处理......
采用溶胶凝胶工艺，在ITO透明导电玻璃基板上成功地制备了Zn掺杂的Pb0.4Sr0.6TiO3（PST）铁电薄膜。利用XRD测定了薄膜的相结构，精密阻抗......
采用粉末靶材射频磁控溅射技术在Pt／SiO2／Si基片上制备了厚度为300nm的BaSn0．15Ti0．85O3薄膜。薄膜的沉积速度达到40nm／min，比采用传统陶......
