位相型光瞳相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

位相型光瞳相关论文

位相型光瞳滤波器对共焦系统离焦工作状态横向分辨特性的影响

分析了共焦显微系统(CMS)离焦状态工作时分辨特性的变化,指出了离焦状态是导致CMS横向分辨特性变差的主要影响因素之一。提出并采......

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光学测量共焦系统位相型光瞳离焦特性表面轮廓超分辨滤波

具有高空间分辨力的位相型光瞳滤波式差动共焦测量法

提出一种新的改善光触针类测量传感器空间分辨力的位相型差动共焦测量方法.该方法通过具有横向超分辨能力的位相型光瞳滤波器最大......

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传感器共焦测量光瞳滤波器位相型光瞳

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