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位相型光瞳滤波器对共焦系统离焦工作状态横向分辨特性的影响
分析了共焦显微系统(CMS)离焦状态工作时分辨特性的变化,指出了离焦状态是导致CMS横向分辨特性变差的主要影响因素之一。提出并采......
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