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在超精密的测量和校准方面，激光干涉仪多年来扮演了极重要的角色。但是近年随着自动化位移系统性能大幅提高，面对半导体和传统金属加......
提出了以虚拟仪器Labview为核心的位移测试控制的设计方案,改善了低速性能,以较低的成本满足了位移控制的性能要求,强化了系统的可......
为保证大型机组中电子测速加电子测振动/位移系统中本特利3500的长周期稳定运行,对其进行了耐高温技术改进.......
期刊
二维位移系统是许多精密设备的重要部件,广泛应用于精密机械及自动化领域。随着制造业对精度和效率的要求越来越高,精密激光加工设......
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