对比典型的差动电容结构，设计了一种新的折叠梁电容式MEMS低g（g=9．8m／s^2，当地重力加速度）值加速度计，指标为量程0～±2g，横向灵敏度＜3％。......

基于MEMS技术的微型加速度开关器件集信息探测、辨别和控制于一体,可感应外界加速度信号变化或冲击并触发相应电路,具有小体积、低......