低应力组装相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

低应力组装相关论文

谐振式MEMS压力传感器封装和仪表研究

谐振式MEMS压力传感器具有精度高、功耗低、稳定性好、准数字信号输出等优点，广泛应用于气象探测、农业生产、工业控制、航空航天等......

学位

MEMS压力传感器真空封装低应力组装闭环电路传感器仪表

一种谐振式MEMS压力传感器单芯片级真空封装和低应力组装方法

为提高谐振式MEMS压力传感器的品质因数,且同时降低温度漂移,设计了一种传感器的单芯片级真空封装和低应力组装方法,选用非光敏苯......

期刊

MEMS 谐振式压力传感器真空封装低应力组装黏合键合

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