低温等离子体源相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

低温等离子体源相关论文

大气压Ar等离子体射流阵列的实现与特性研究

大气压等离子体射流(APPJ)作为等离子体的主要放电形式，具有较好的放电应用前景，但由于其放电处理面积小，放电强度相对较弱等现象，影响......

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大气压等离子体射流阵列放电特性放电强度低温等离子体源耦合现象

电子束驱动低温等离子体源的动理学模拟研究

随着半导体器件的尺寸趋于纳米量级,原子层刻蚀工艺已经成为微电子工业进一步发展的必要技术手段。对于原子层刻蚀工艺,用于刻蚀的......

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低温等离子体源原子层刻蚀电子束驱动等离子体 PIC/MCC模拟电子能量分布函数离子通量离子能量分布函数

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