电子能量分布函数相关论文
随着等离子体技术飞快发展,更多的研究者从事等离子体技术研究与应用,无论是对高新技术产业还是人们的日常生活都产生了深远的影响......
通过电压扫描探针测量了LEAD装置螺旋波射频等离子体伏安特性曲线和电子能量分布函数,并对等离子体基本参数剖面如电子温度、密度......
随着半导体器件的尺寸趋于纳米量级,原子层刻蚀工艺已经成为微电子工业进一步发展的必要技术手段。对于原子层刻蚀工艺,用于刻蚀的......
等离了体技术在微电子工业和半导体薄膜材料生长等方面有着广泛的应用。用等离子体化学气相沉积(PCVD)技术制备的薄膜质量好,而且......
在ECR放电实验中,我们测量了简单镜中捕获的电子能量分布函数.通过测量双延迟势,可获得ECR放电中电子在磁镜装置镜喉区域的电子能......
中高层大气瞬态发光事件(TLEs)是临近空间研究的热点课题,研究TLEs的辐射特性、扰动电子密度等问题的关键在于求解电子能量分布函......
研究了高频电波加热电离层实验期间电子能量分布函数，利用美国HAARP和欧洲EISCAT实验中630．0nm、557．7nm与844．6nm等气辉辐射测量结果，......
Three-dimensional particle-in-cell with Monte Carlo collision simulation of the electron energy dist
For optimization and accurate prediction of the amount of proton production in the multi-cusp ion source, analysis of th......
随着我国经济的发展,输电线路电压等级不断升高,输电线路电晕放电带来的一系列环境问题日益突出。其中,无线电干扰作为环境影响的......
应用调谐的单探针对氩气射频辉光放电等离子体进行诊断,得到了不遵循双Maxwell分布的电子能量分布函数.经过分析后,指出等离子体振......
基于磁荷模型,在有限差分法基础上,推导了3维永磁体数值算法,结合全3维PIC/MCC粒子模拟算法,数值分析比较了外置型和＂伞状＂型两种特......
高功率微波在军事和民用方面具有重要的应用前景。近年来,高功率微波的辐射电场越来越接近背景气体的击穿阈值,一旦气体击穿发生,......
针对高温混合气体临界击穿场强的计算问题,首先对所采用的零维模型进行了介绍,在此基础之上,对纯空气、空气与PA6蒸气的混合气体、......
通过计算建立的介质阻挡放电等离子体动力学模型,分析了等离子体中电子碰撞过程中的电子能量转换过程,为掌握等离子体强化燃烧机理......
近年来,低温等离子体工艺在超大规模集成电路、微机电系统加工、材料表面改性、新型薄膜材料以及纳米材料制备等前沿科技领域中有......
等离子体助燃技术兴起于军用航空领域,并逐步应用于能源、汽车、环保等领域,成为一个极具发展潜力的学科,引起了越来越多的国内外......
SF6气体虽然绝缘性能优越但是极易液化,且是一种温室效应值很高的气体。CF3I气体是极具潜力的SF6替代气体之一,通过计算求解CF3I/N......
