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低能离子沉积相关论文

基于低能离子沉积和溅射技术的碳与硅纳米结构制备及场发射性能

碳与硅纳米结构具有独特的几何形貌、非常优异的机械性能和场发射性能，在微电子器件、平板显示器场发射阵列、太阳能电池防反射表面......

学位

碳纳米管低能离子沉积溅射技术几何形貌硅纳米结构微电子器件

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