溅射技术相关论文
三元化合物半导体CuInS,由于具有与太阳光谱非常匹配的宽直接带隙(1.55eV),而成为优良的高效薄膜太阳电池吸收层材料.本文报道采用......
通过介绍蓝宝石衬底上生长氮化铟(InN)单晶薄膜的发展历程,阐述了生长该单晶薄膜的几种方法及生长过程中存在的一些问题和改进措施......
磁控溅射技术是一种低温升、高速率的成膜技术，已经广泛应用于许多领域。随着环保问题的日益突出，无污染镀膜技术变得越来越迫切。本......
本文研究了在不同O2分压下用螺旋波等离子体辅助射频溅射法在蓝宝石衬底的(0001)面上制备ZnO薄膜。通过对其结构，光学及电学性质的......
为了沉积高质量的硬质薄膜,避免直流反应溅射出现的靶中毒和打火现象影响薄膜质量和色彩。采用中频反应磁控技术在不锈钢基体上沉......
本文用中频孪生溅射技术在Si(111)基底上制备了富Al元素且Al/Ti原子比不同的TiAlN涂层,对其结构及表面形貌进行了研究,并在UMT-2MT......
本文研究了利用磁控溅射技术制备高质量的ZnO薄膜,并通过退火等处理方式,来提高材料的各项性能.并同时应用扫描电子显微镜(SEM)、X......
利用磁控溅射技术通过依次沉积LiCoO2正极薄膜、LiSiPON电解质薄膜和氧化锡负极薄膜以及集电极,制备出了一种LiCoO2/LiSiPON/SnO1.......
采用RF磁控溅射技术制备含纳米硅的SiO2薄膜.通过对Si-SiO2复合靶的比分进行调节控制,并在不同的温度下进行高温退火得到不同......
采用RF平面磁控溅射技术在单晶AlO衬底上淀积了ZnO薄膜.研究了ZnO薄膜的结构特性及电学性能,XRD结果表明:在AlO衬底上沉积的ZnO薄......
本文利用高速钢基体上通过反应磁控溅射技术沉积的1.5μm和3.0μm厚的TiN薄膜,采用力学探针技术准确测量硬质薄膜的力学性能.......
用反应磁控溅射技术在硬质合金表面沉积TiN涂层，最高显微硬度达到4000Kgf/mm以上。通过多因素多水平正交设计实验研究了工艺参数......
该文由溅射成膜技术入手，着重介绍了偏压溅射技术的原理、优点及其应用，并从实际生产、试验出发，讨论了偏压溅射的某些特性，阐述了自己......
该文用TCK—500磁控溅射台，溅射Al膜TiO[*v2*]膜，Ta[*v2*]O[*v5*]膜，与蒸发法相比较，结果发现其膜层折射率高，附着加强，淀积率恒定，便于控......
精密、超精密加工技术的不断发展,要求切削力测量传感器及系统微小化、高精度、高分辨率、高响应、实时性等。研制高精度、能适应......
本文利用直流反应磁控反应溅射技术在不锈钢基体上制备了硬质薄膜(Cr、CrN、 Ti-Si-N)。利用XRD、SEM、EDS、TEM分析了薄膜的物相......
本文针对φ3英寸YBCO高温超导双面薄膜的制备技术，研究了靶材烧制、薄膜膜厚分布、加热器设计与制作，制备出了具有87k超导性的3英寸Y......
近年来硅基纳米材料的研究已成为光电子领域中的一个新的热点,它的核心问题是如何实现高效率的硅基发光器件,以便于同其他的硅基光......
碳与硅纳米结构具有独特的几何形貌、非常优异的机械性能和场发射性能，在微电子器件、平板显示器场发射阵列、太阳能电池防反射表面......
1 引言rn本文从技术的角度对应用于高性能切削(HPC)领域的最先进溅射技术(高电离溅射,HIS)进行了综合阐述并简要介绍了涂层领域未......
1引言rn大多数多晶硅太阳电池的减反射膜都是用增强的等离子化学气相沉积法(PECVD)沉积的掺氢氮化硅膜层(Sinx:H).和其它减反射膜(......
Laseroptik公司的技术人员能够按照客户的要求，使用该公司的离子束溅射技术完成复杂的镀膜工作。这其中包括具有超高反射率及低损耗......
上世纪七、八十年代，采用平面磁控阴极大面积溅射技术镀制的阳光控制膜和低辐射膜被引入市场，以达到节能的效果。随着市场的发展与成......
GeSb2Te4 电影被 RF 磁控管在表面地形学上劈啪作响，和劈啪作响的力量的效果在 Si 底层上扔，反压缩性质与原子力量显微镜(AFM ) 和 n......
乐甫模式声波传感器已经广泛应用于生物化学和气体检测。乐甫波只能存在于波导层/基底复合结构中,且波导层中的剪切波速低于基底中......
我们通过表面修正在原子地扁平的 Au (111 ) 上报导分散和孤立的 Au-CdSe nanohybrids 的扫描通道显微镜学(STM ) 描述。在表面上......
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近年来，国内外SiC薄膜材料制备工艺研究迅速发展，由此带来SiC薄膜性能方面的研究也获得长足的进步，新技术、新工艺、新性能不断涌现。......
用射频共溅射技术和后退火的方法，制备出埋入SiO2基质中的Ge纳米晶复合膜(nc-Ge／SiO2)。通过拉曼散射、光致发光和透射电子显微镜等......
Astellatech公司的一项最新技术可将太阳能电池的电转化率提高20％。在塑料基板、低于100℃的条件下，采用Al反应溅射技术，使氧化铟锡（IT......
采用第五代隔热技术——超微纳米陶瓷溅射技术与传统的隔热膜产品不同，凯莱汽车窗膜采用了最新的“超微纳米陶瓷溅射技术”，这是一种......
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<正> 溅射方法是指将各种蒸发材料(如磁性材料、电阻材料等)加工成靶,用氩等离子体轰击,使待蒸发材料溅射到基板、衬片等表面上形......
