溅射技术相关论文
通过介绍蓝宝石衬底上生长氮化铟(InN)单晶薄膜的发展历程,阐述了生长该单晶薄膜的几种方法及生长过程中存在的一些问题和改进措施......
为了沉积高质量的硬质薄膜,避免直流反应溅射出现的靶中毒和打火现象影响薄膜质量和色彩。采用中频反应磁控技术在不锈钢基体上沉......
精密、超精密加工技术的不断发展,要求切削力测量传感器及系统微小化、高精度、高分辨率、高响应、实时性等。研制高精度、能适应......
本文利用直流反应磁控反应溅射技术在不锈钢基体上制备了硬质薄膜(Cr、CrN、 Ti-Si-N)。利用XRD、SEM、EDS、TEM分析了薄膜的物相......
本文针对φ3英寸YBCO高温超导双面薄膜的制备技术，研究了靶材烧制、薄膜膜厚分布、加热器设计与制作，制备出了具有87k超导性的3英寸Y......
近年来硅基纳米材料的研究已成为光电子领域中的一个新的热点,它的核心问题是如何实现高效率的硅基发光器件,以便于同其他的硅基光......
1 引言rn本文从技术的角度对应用于高性能切削(HPC)领域的最先进溅射技术(高电离溅射,HIS)进行了综合阐述并简要介绍了涂层领域未......
1引言rn大多数多晶硅太阳电池的减反射膜都是用增强的等离子化学气相沉积法(PECVD)沉积的掺氢氮化硅膜层(Sinx:H).和其它减反射膜(......
乐甫模式声波传感器已经广泛应用于生物化学和气体检测。乐甫波只能存在于波导层/基底复合结构中,且波导层中的剪切波速低于基底中......
近年来，国内外SiC薄膜材料制备工艺研究迅速发展，由此带来SiC薄膜性能方面的研究也获得长足的进步，新技术、新工艺、新性能不断涌现。......
利用红外光谱仪分析了用离子溅射技术制备的Al-Mx金属多层膜的红外特性。结果表明，在2000～4000cm^-1波段多层膜具有良好的红外吸收特......
用射频共溅射技术和后退火的方法，制备出埋入SiO2基质中的Ge纳米晶复合膜(nc-Ge／SiO2)。通过拉曼散射、光致发光和透射电子显微镜等......
多层介质反射镜在非正入射的时候,两个不同的偏振态之间会产生不同的相移.根据空气与膜层、膜层之间的实际情况,建立了界面层和表......
<正> 溅射方法是指将各种蒸发材料(如磁性材料、电阻材料等)加工成靶,用氩等离子体轰击,使待蒸发材料溅射到基板、衬片等表面上形......
