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4-bit SONOS存储器多值存储技术及器件物理研究
近年来具有低电压、低成本和高可靠性等优点的电荷俘获型存储器得到广泛研究,电荷俘获型存储器成为将来可能取代传统浮栅型快闪存......
学位
多晶硅-二氧化硅-氮化硅-二氧化硅-硅(SONOS)存储器
浅沟槽隔离
压应力
硼析出
多值单元
保持模型
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