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本文采用曲轴电子光学理论,研究了超大偏转角情况下的偏转象差。给出了曲轴二级和三级象差公式。计算了均匀偏转场的曲轴二级,三级象......
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Trilemma效应是偏转系统实现自会聚的一个重要判据,对高级领导转角差的校正,需要考虑高阶Trilemma效应的影响,本文从多极场偏转象差校正理论出发,应用区......
本文对扫描电子束曝光系统(SEBLS)透镜后偏转鞍形线圈的三级偏转像差对电子光柱系统的重要参数:偏转器与透镜之间的距离Z_o,工作距......