像散法相关论文
像TIAN Yiqiang, JIANG Tingjia, GAO Pengfei, TIAN Yuan, JIANG Man, GUO Hanming, ZHUANG Songlin散法离焦检测中的
推导出了离焦量与聚焦误差信号功率的关系式。利用MATLAB软件仿真, 详细分析了像散透镜系统各个参数对离焦量、灵敏度、光斑大小等......
本文简要介绍了小波包分析的主要概念和优良特性,针对基于像散法的光探针式表面形貌测量系统测量信号的信号分解问题,提出了基于小......
随着信息技术的迅速发展,对信息存储容量的要求越来越高。光磁混合记录技术以激光辅助热磁写入和磁通检测读出为主要特征,克服了超顺......
该文首先从系统的角度出发,详细论述了调焦检测技术和调倾检测技术在Z坐标测量系统的应用,并给出了测量装置图.再从离焦误差检测方......
为了高效、快速的实现微结构三维可视化,对基于像散原理并行共聚焦光学系统中探测曲线过零点灵敏度的影响因素进行了研究。从几何光......
以像散法的测微原理为依据,对CD光学头的检测系统进行改造,构建了一维测微系统。获得0.07μm的测量分辨率,100kHz的频率响应。同时具有体积小,成本低......
光存储中调焦技术是其中最关键的技术之一.主要介绍了波导多层存储中的调焦方法的选择以及应用,在以前已经使用的像散法的基础上提......
为了实现高精度的离焦检测,通过理论研究,确定了基于像散法的检测方式。设计了相应的光学系统,利用仿真软件对设计参数和关系进行......
通过推导高斯光条件下像散离焦检测系统中离焦量与聚焦误差信号功率之间的关系,分析了激光光斑能量中心相对四象限探测器几何中心......
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随着微细加工、微光学、微机械和微电子等技术的不断发展,越来越多的微器件需要进行精密三维测量。因此对微观轮廓形貌进行快速准确......