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差动离焦相关论文
基于差动离焦原理的动态检测光学测头的研究
随着现代工业生产、航空航天等技术的发展,对光学、电子等器件表面形貌质量控制、关键机械零件表面的精确测量要求越来越高,要求测量......
学位
差动离焦
动态检测
光学测头
非接触测量
基于全场并行共焦的检测技术与系统研究
随着微细加工、微光学、微机械和微电子等技术的不断发展,越来越多的微器件需要进行精密三维测量。因此对微观轮廓形貌进行快速准确......
学位
共焦显微镜
并行检测
像散法
差动离焦
数字投影
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