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针对光栅横向剪切干涉仪研究了旋转绝对检测的方法，并用前36项Zernike多项式标定出剪切装置的系统误差非对称项。研究结果表明，将面......
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光栅横向剪切干涉仪可以实现超高精度的光刻镜头系统波像差检测,为了实现超高精度的绝对检测,必须消除来自干涉仪的系统误差。本文......
