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光学收集镜相关论文
超精密芯轴制造及Wolter-Ⅰ型极紫外光学收集镜复制工艺研究
现有的光刻技术采用波长193纳米的深紫外光(DUV)制造出22纳米宽的最小线宽已接近极限。为了在同一芯片上蚀刻更小线宽,则需要使用......
学位
Wolter-Ⅰ型
光学收集镜
复制制造
芯轴
EUV
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