光学装校相关论文
该文列出了i线和g线大数值孔径亚微米投影光刻物镜的技术指标要求，讨论了这类超高精度光刻物镜的光学装校技术特点，报告了计算机辅助......
大口径Hartmann激光扩束系统是一个高质量的光束转换系统,因为对该系统最终的波前误差要求很高,所以它对光学设计、光学加工、光学......
对于大口径精密投影光刻制版镜头来说,透镜的应力变形和中心误差对整个系统的成像质量有较大影响.详细介绍了一种减小应力变形的特......
KM6太阳模拟器准直镜是由121块正六边形的球面单元镜拼接而成,拼接后有效口径为6636mm、曲率半径为24800mm。文章分析了3种经典的......
为了说明面形局部误差对红外光学系统像质的影响,简述了影响光学系统像质的因素,详述了透镜面形局部误差要求和瑞利判据的关系,据......
随着计算机技术和软件技术的发展,在光学领域光学设计相较以前已方便许多,而光学加工工艺越来越成为光学领域研究发展的难点,光学......
文章介绍了KM6太阳模拟器的设计方案.为实现先进的技术指标,KM6太阳模拟器选用了离轴准直光学系统设计方案,并对该光学系统进行了......
针对裂隙灯转鼓的光学装校,提出一种数字化装校方法。该方法采用透射式装校系统原理,在检测光路前后加入十字线,通过观察2个十字线......
激光干涉仪直接测量球棒球心距是目前国际上球棒标准器量值溯源的一种新颖且有效的方法,根据该原理构建球棒球心距测量装置。通过......
<正> 由二块反射镜跟踪活动目标的经纬仪,它所获目标的像必然带来象的旋转,为了消除这一像的旋转;该仪器中使用了△棱镜消像旋转部......
传统的光学测量定中心法受限于光源、转台大小和装调误差传递性而不适用于大口径、多透镜光学系统的装调,为此本文提出了使用三坐......
本文以193nm(ArF)步进扫描投影光刻机中100nm投影光刻物镜为切入点,探讨高性能光学系统的定中心问题。首先介绍了新旧国家标准关于......
随着空间光学的高速发展,对于大口径、长焦距、高分辨率的光学系统的需求量日趋增大。光学装校是实现设计结果的最后一道关键工序,......
本论文从理论与实践方面，对共轴光学系统计算机辅助光轴一致性装调技术进行了深入的研究。 论文的主要研究内容如下： 论文对传......
