光学非线性误差相关论文
随着超精密测量领域对测量精度需求的不断提高,国内外学者对外差激光干涉仪展开了进一步的研究,力图实现亚纳米量级测量精度。周期......
随着科学技术的快速发展,外差干涉测量系统已在超精密加工和测量领域取得了广泛的应用,但其测量结果精度还受到多种因素的影响。本......
双频激光干涉测量技术由于非接触、精度高、可溯源等优点，被广泛应用于量规检定、车床校准以及纳米传感器标定等超精密测量领域，但由......
