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传统的光束漂移测量及校正系统结构复杂、实时性低。针对这一问题，提出了一种基于散焦光栅成像装置的光束对准系统，该系统利用±1级......
光束自动对准技术是扫描干涉场曝光系统中的关键技术之一，两曝光光束位置与角度的重合程度直接影响所制作光栅掩模的槽型质量。针对......
发光二极管（LED）具有较快的光电响应速度，除用于照明之外也可用于无线光通信光源。与过去通常使用激光作为无线光通信的光源相比，LED产......
目前激光对中仪校准主要采用的方法为垫量块法,但是该方法存在操作复杂、工作效率低、可靠性低等缺点。本文提出了一种集光束对准......
为了提升扫描干涉场曝光光束对准精度,保证制作的光栅掩模槽形的质量,建立了曝光光束对准误差模型,利用模型对光束对准误差进行了......
提出了一种适合大气激光通信特点的光束自动捕获系统,详细分析了光束自动捕获系统的工作原理.该方法可以省去专门的光束捕获系统,......
