设计了一套极紫外光刻光源系统的光束准直系统，用于满足极紫外光刻光源系统对光束指向稳定性的需求，保证极紫外光的转换效率。准直系......

基于光学系统工程化应用对稳定性的要求,开展了系统减振措施的研究,提出了一种适合振动失调光学系统的减振技术——基于快速响应反......

随着科技的迅速发展,大尺寸高质量衍射光栅的需求也越来越迫切,扫描干涉场曝光技术是一种新兴的全息光栅制作方法。基本原理是两束......

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......

为了进一步提高激光光束用作直线基准的精度,建立了基于反射镜平动式光束稳定器以及两点式光束漂移分离法的高精度激光光束准直系......

光学系统在研究材料和器件的热问题、空间光通信问题、高精度激光加工设备等方面应用广泛。但光学系统极易受到环境中各种动态干扰......

介绍了一种用于两个光学平台之间光轴自动对准和稳定光束的设计方案。以可绕ｘ，ｙ，ｚ三个方向转动的导光管为单元，组成导光臂连接两个光学平......